katodové naprašování

Elektronika

Mikroelektronika, způsob nanášení tenkých kovových vrstev, je založena na mechanismu přenášení kovu z katody na anodu při doutnavém výboji v plynech. Katoda je zhotovena z materiálu určeného k naprašování, anoda bývá zpravidla ze železa nebo hliníku.

Vytvořeno: 14. 3. 2000
Aktualizováno: 16. 10. 2006
Autor: -red-